用途最適ソリューションウェハセンタリング

ch.02 2026年04月02日

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3枚のダミーウェハの位置ズレを、2台の透過型狭光芒サイドビューファイバで検出するデモ機です。
透過型狭光芒サイドビューファイバでありながら長距離検出を実現。ウェハセンタリングやマッピングに最適です。
#産業デバイス

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