IIFES2025 用途最適ソリューション ウェハセンタリング
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3枚のダミーウェハの位置ズレを、2台の透過型狭光芒サイドビューファイバで検出するデモ機です。
透過型狭光芒サイドビューファイバでありながら長距離検出を実現。ウェハセンタリングやマッピングに最適です。
#産業デバイス
透過型狭光芒サイドビューファイバでありながら長距離検出を実現。ウェハセンタリングやマッピングに最適です。
#産業デバイス
関連リンク
- IIFES2025 特設サイト - パナソニック
https://industry.panasonic.com/jp/ja/products/fasys/special/iifes2025
- 狭光芒ファイバ - パナソニック
https://industry.panasonic.com/jp/ja/products/fasys/sensor/fiber/tf-narrow
