IIFES2025 装置性能・工数削減ソリューション高精度ガントリ制御

ch.02 2026年04月02日

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半導体製造装置を模したリニアガントリ制御と圧力制御のデモ機です。センサ直結による高速応答と高精度な圧力制御、リニアモータ用ガントリ制御の実演により精密な動作を体感できます。
#産業デバイス

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